晶体生长设备 真空镀膜设备 清洗设备 智能设备 氧化物单晶生长炉 主要应用于半导体磷化铟、磷化镓等材料的单晶生长。是制造II-VI族和III-V族化合物半导体材料的关键设备 VTM碲化镉单晶体生长炉 碲锌镉单晶炉是依据我公司自主研发的VTM工艺方法所设计的新型单晶工艺设备, 设备由加热系统、运动系统支撑机构、电控系统四部分组成，适用碲锌镉、碲化镉、锑化镓等多种化合物半导材料的单晶生长。
