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真空镀膜设备
磐石创新真空事业部设备产品涉及众多技术应用领域,包括消费电子、航空航天、半导体工艺设备、光电学、清洁能源、高能物理等科研及工业的应用。产品技术种类包括:PVD、CVD、PECVD、ALD、PEALD、MOCVD、OLED等标准型及非标设备。
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卧式管状加热炉
SIC单晶炉是针对碳化硅单晶生长专用工艺设备,也可用于氮化铝的单晶生长工艺。