GASS立式甩干机
GASS立式甩干机是高洁净度冲洗甩干设备，具有高洁净冲洗，高速甩干，快速烘干，效率高的特点，不同品圆尺寸，可通过快速更换转子来实现。是湿法清洗工艺的主要设备，设备本身有单腔室和双腔室2种结构，体型小运行平稳。其主要用于2-8英寸半导体品圆、掩膜板、各种基片等材料的高洁净度冲洗及干燥工艺。
GASS立式甩干机
GASS立式甩干机是高洁净度冲洗甩干设备，具有高洁净冲洗，高速甩干，快速烘干，效率高的特点，不同品圆尺寸，可通过快速更换转子来实现。是湿法清洗工艺的主要设备，设备本身有单腔室和双腔室2种结构，体型小运行平稳。其主要用于2-8英寸半导体品圆、掩膜板、各种基片等材料的高洁净度冲洗及干燥工艺。
